Produkte der APR Serie gehören zu den flüssigen Ätzresisten zur Innenlagenherstellung (LPIR). Es sind negativ arbeitende Ätzresiste, ausgestattet mit einer hohen Robustheit und Prozesstoleranz, und geeignet um hohe Prozessausbeuten zu erzielen. Hohe Belichtungsgeschwindigkeit, hoher Photokontrast und höchste Auflösungseigenschaften sind einige der hervorstechenden Eigenschaften der APR Flüssigresiste.
APR Produkte haben ausgezeichnete Beschichtungseigenschaften auf vertikalen- und horizontalen Beschichtungslinien.

APR 58 URC-1 (und dessen HV Version für vertikale Roller Coater) zeigt erstklassige Eigenschaften, kombiniert mit einem weiten Prozessfenster. Es ist die erste Wahl für Innenlagen Herstellungen mit hohem Durchsatz und hoher Ausbeute.

APR 68 wurde für diskontinuierliche Innenlagen-Prozesse entwickelt. APR 68 hat eine höhere Kratzfestigkeit, einen hohen Oberflächenschlupf und erreicht damit eine verbesserten Stapelbarkeit - alles Eigenschaften die besonders in diskontinuierlichen Prozessen gefordert sind.

Die Produkte der APR Serien sind mit einem Bleichfarbstoffsystem ausgestattet.

Flüssige Photostrukturierbare Ätzresiste, Eigenschaften und Vorteile

• Hoher Photokontrast für höchste Auflösung
• Homogene Beschichtung für optimalen Kontakt bei der Belichtung
• Schnelle Belichtung mit hoher Prozesstoleranz, geringe Belichtungsenergie verbessert die Belichterkühlung und verbessert die Registriergenauigkeit
• Harte und robuste Oberfläche mit hoher Widerstandsfähigkeit gegen Transportdefekte in der DES Linie
• Schelle Entwicklung in kurzen Entwicklungszonen, hohe Prozesstoleranz erlaubt Produktion von hohen Auflösungen bei minimaler Prozessinvestition
• Hohe Beständigkeit gegenüber sauren Ätzmedien ohne Schlammbildung.