Forschung und Entwicklung für die Interconnect Technology

Atotechs Partnerschaft mit dem College of Nanoscale Science and Engineering (CNSE)

Atotechs Partnerschaft mit dem CNSE konzentriert sich auf die Entwicklung und Optimierung von Kupferabscheidungstechnologien für Advanced Device Structures. Die Partnerschaft bietet den Ingenieuren von Atotech exklusiven Zugang zu den Forschungs- & Entwicklungsaktivitäten des Colleges und seinen weltweit 250 Partnern. Zusammen mit diesen Partnern unterstützt Atotech die Entwicklung in Richtung Strukturen unterhalb von 22 nm mit seinem Beitrag an technischem Know-How und kostengünstiger Chemie für die Metallisierung.

Durch diese Partnerschaft arbeiten die Ingenieure von Atotech und dem CNSE sehr eng zusammen, um funktionale und technische Prozesslösungen für minimierte und effizientere Endprodukte zu entwickeln und zu liefern. Die gemeinsame Forschung und Entwicklung fokussiert sich auf die Optimierung von Prozessschritten und analytischen Methoden, die die Technologien für die Copper Wiring-Technologie in Semiconductor-Anwendungen beeinflussen. Konstant hohe Leitfähigkeit und geringe Anfälligkeit gegen Streß- und Elektromigration unter Zuverlässigkeitstestbedingungen definieren die Kupferqualität.

Über CNSE

Das College für Nano- und Ingenieurwissenschaften ist das erste College der Welt, welches sich der Lehre, Forschung, Entwicklung und der Verwendung von neu aufkommenden Unterrichtsfächern in der Nanowissenschaft, Nanoingenieurswissenschaft, Nanobiowissenschaft und der Nanowirtschaft widmet.

Mit Investitionen von über $5.5 Mrd. in die High-Tech-Industrie macht der 250.000 qm große NanoTech-Komplex in Albany Partner auf der ganzen Welt auf sich aufmerksam und ermöglicht es Studenten einmalige akademische Erfahrungen zu sammeln.

Über 2.500 Wissenschaftler, Forscher, Ingenieure, Studenten und Lehrkräfte arbeiten am Standort des CNSE NanoTech-Komplexes – diese kommen von den verschiedenen Unternehmen wie z.B. IBM, AMD, GlobalFoundries, SEMATECH, Toshiba, Applied Materials, Tokyo Electron, ASML, Novellus Systems, Vistec Lithography und Atotech.

Für weitere Informationen besuchen Sie bitte www.cnse.albany.edu.