Kupferbeschichtung F&E für die 3D Integration Technology

Atotechs Partnerschaft mit SEMATECH International

Atotechs Partnerschaft mit SEMATECH International fokussiert sich auf die Entwicklung von hochmodernen Prozesstechnologien der Kupfermetallisierung für das 3D-Stacking bei integrierten Schaltkreisgeräten (IC), um die Anforderungen der Halbleiterindustrie hinsichtlich einer steigenden Performance und Effizienz von kleineren Geräten mit geringeren Kosten zu erfüllen. Atotech hat sich als einziger Materiallieferant dem 3D-Integrationsprogramm von SEMATECH angeschlossen, um ein hohes Aspektverhältnis (AR) für die Silizium-Durchkontaktierungstechnologie (TSV) zu entwickeln.

Als ein Mitglied von SEMATECH nimmt Atotech an der maßgeblichen Forschung hinsichtlich der Entwicklung und Implementierung von kostengünstigen Lösungen für die Kupfergalvanisierung von TSV-Technologien für Wafer-zu-Wafer, Chip-zu-Chip und Chip-zu-Wafer 3D-Integrationsanwendungen teil. Atotech trägt zu dieser Forschung & Entwicklung mit wettbewerbsfähigen Kostenstrukturen, innovativer Chemie und Metallisierungs-Know-how bei. Atotech profitiert von der Zusammenarbeit und dem Expertenwissen der weltweiten Partner von SEMATECH und hat Zugriff auf die gemeinsamen Ergebnisse inklusive der elektronischen Datenbeschreibung, ersten Daten der Zuverlässigkeitstests und Modulentwicklungen.

Das 3D-Programm hat seinen eigenen Reinraum am CNSE welches eine Vielzahl von 3D-Equipment inklusive einer 300 mm NEXX Stratus ECD Beschichtungsmaschine beherbergt, die von Atotech für die Entwicklung eines TSV-Galvanisierungsprozesses verwendet wird. Der anfängliche Fokus der R&D liegt auf einem hohen Aspektverhältnis (AR) von TSV-Strukturen mit den Zielgrößen 5 x 25 μm und 5 x 50 μm. Die elektrische Datenbeschreibung und die ersten Daten bezüglich der Zuverlässigkeit, die für die Experimente generiert wurden, machen es dem F&E-Team möglich, die Ergebnisse zu analysieren und den Prozess zu Gunsten der TSV-Performance zu verbessern.

Über SEMATECH

Seit 20 Jahren hat SEMATECH® (www.sematech.org) die globale Richtung angezeigt, eine flexible Zusammenarbeit ermöglicht und eine Brücke geschlagen von der strategischen F&E bis hin zur Produktion. Heute fahren wir damit fort, die nächste technologische Revolution mit unserer Nanoelektronik und neu aufkommenden Technologiepartnern zu beschleunigen.

Für weitere Informationen besuchen Sie bitte die Unternehmenswebseite unter www.sematech.org.