液态感光抗蚀油墨(又称内层油墨,内层感光油墨,内层湿膜,液态光阻)
APR系列产品是负面液态感光抗蚀油墨。此产品之耐药力性能及耐用性是提高第一良品率(FPY)的最佳合作伙伴。 安美特APR系列的取胜特征是很短的光速,极高的对比度及解像力。
APR液态感光抗蚀油墨系列产品可与标准的LPIR水平或垂直式设备兼容。
安美特技术组 可提高用户制定的解决方案。
液态感光抗蚀油墨
APR系列的配方明确地显示了其提高良品率及其耐用性能。在取得优于业内当前要求解像度水平的同时也拓宽了工艺耐受性。
APR58 URC–1 HV卓越的表现是提供广阔的工艺参数范围作为高良品率及大量生产的首要选择。
APR68的工程设计是提供耐刮伤,低表面摩擦及提高防粘能力,为连续性内层生产流程提供了最佳的选择。
液态感光抗蚀油墨的特点及优点:
 |  | 极高的对比度,非常清晰 |  | | 在各种普通预清洁前处理条件下能保持很好的锚固性能 |  | | 均匀的膜使到曝光时硬触点非常完善 |  | | 消除了曝光挥发物,改善菲林底片的质量并延长其使用寿命 |  | | 在较宽的曝光范围内迅速曝光,只需低能量即可曝光,方便曝光框架冷却,使定位非常精确 |  | | 膜片很坚硬,可以抵受DES运输和搬动 |  | | 在较短的显影机里进行快速显影,工艺的公差,可在最小的工艺投资条件下取得细线条线宽/距 |  | | 具有长久抵抗酸性蚀刻剂的能力,并不会形成渣滓 |  | | 可按客户要求调节退膜工序,以最佳方式处理退膜物使成片状容易过滤 |
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