Химическое осаждение покрытия для металлизации подложки: Xenolyte

Гамма продуктов Xenolyte охватывает растворы для очистки и активирования поверхности и химикаты для химического осаждения никеля, палладия и золота в технологиях металлизации подкладки. Продукты Xenolyte применяются в ударной металлизации (UBM) при соединениях к шарикам припоя, проволочных соединениях и соединениях, полученных методом микросварки клиновым электродом. Никелирование, палладирование и золочение с Xenolyte обеспечивают осаждение защитного от коррозии слоя для соединения подслоя и паяного соединения к основе IC .

Слой никеля служит барьером диффузии и обеспечивает защиту от образования пустот Киркендаля. Осажденные слои палладия и золота обеспечивают адгезию припоя и соединения, а также защиту от оксидирования.

Процесс химическое ударного осаждения (UBM) с Xenolyte подходит (согласован) с подложками алюминия и меди при условии специальной обработки каждой из них. Xenolyte также проявил совместимость со стандартным соединением алюминия и золота, a также отличные характеристики с технологией проволочного соединения меди.

Свойства и преимущества

Требования, выдвигаемые производством к технологии UBM, включают и крепкое и стабильное соединение, при невысоком сопротивлении, к основе IC. Технологии с Xenolyte' показали еще одно преимущество – последующие процессы и характеристики осаждения покрытия достигаются при значительной экономии издержек по сравнению с традиционной технологией металлизации распылением.

• Улучшение адгезии между UBM и основой IC
• Отличная подложка для проволочного соединения
• Стек металла с минимальным натяжением
• Повышение надежности при посредством применения чистого палладия для проволочной технологии
• Гибкость процесса – возможность применения с проволочными соединениями алюминия, золота и меди

С целью удовлетворения требований производителей полупроводников в области экологии, «Atotech» разработал новаторские продукты для UBM. Продукты процессов Xenolyte - никелирование, не содержащее свинца и золочение, не содержащее цианида - позволяют нашим клиентам осуществлять внедрение экологичных производственных процессов.