Thiết bị mạ NEXX Stratus 300 mm ECD
Chuỗi điền từ dưới lên TSV (5 x 25 μm)

Hoạt động Nghiên cứu & Phát triển (R&D) Mạ Đồng cho Công nghệ Tích hợp 3D

Quan hệ hợp tác của Atotech với Tổ chức Quốc tế SEMATECH

Quan hệ hợp tác của Atotech với Tổ chức Quốc tế SEMATECH tập trung vào sự phát triển các công nghệ quy trình mạ đồng hiện đại trong 3D stacking cho các thiết bị mạch tích hợp (IC) nhằm đáp ứng các yêu cầu của ngành bán dẫn về nâng cao chất lượng và hiệu quả của các thiết bị kích thước nhỏ hơn, với chi phí thấp hơn đáng kể. Atotech đã tham gia Chương trình Tích hợp 3D của SEMATECH với vai trò nhà cung cấp vật tư độc quyền nhằm phát triển công nghệ TSV có AR cao (via silicon với tỷ suất lỗ (tỷ lệ độ sâu/ đường kính lỗ) cao).

Là thành viên của SEMATECH, Atotech tham gia nghiên cứu các vấn đề hàng đầu hướng tới phát triển và triển khai các giải pháp mạ điện đồng chi phí thấp (hiệu quả kinh tế) cho công nghệ TSV trong các ứng dụng tích hợp 3D wafer-to-wafer, die-to-die và die-to-wafer. Atotech đã đóng góp vào hoạt động R&D các hóa chất mới có tính cạnh tranh về chi phí và bí quyết mạ. Từ sự hợp tác, Atotech đã thu được nhiều lợi ích và kinh nghiệm thực tế của các đối tác toàn cầu của SEMATECH, và đã đạt tới các kết quả hợp tác như dữ liệu mô tả tính chất điện, dữ liệu thử nghiệm độ tin cậy sớm và phát triển mô-đun.

Chương trình 3D có một phòng sạch riêng tại CNSE được lắp đặt rất nhiều thiết bị 3D, trong đó bao gồm thiết bị mạ NEXX Stratus ECD 300 mm mà Atotech sử dụng trong phát triển quy trình mạ TSV. Mối quan tâm đầu tiên của hoạt động R&D là các cấu trúc TSV có AR cao (via silicon với tỷ suất lỗ (tỷ lệ độ sâu/ đường kính lỗ) cao) với kích thước hình học mục tiêu là 5 x 25 μm và 5 x 50 μm. Các dữ liệu mô tả tính chất điện và dữ liệu về độ tin cậy sớm được tạo xuất giúp cho các đội ngũ Nghiên cứu & Phát triển (R&D) có thể phân tích các kết quả và cải tiến quá trình nhằm đạt được TSV tốt nhất.

Giới thiệu về SEMATECH

Trong 20 năm, SEMATECH® (www.sematech.org) đã xác định xu hướng toàn cầu, thúc đẩy hợp tác linh hoạt, và kết hợp hoạt động Nghiên cứu & Phát triển (R&D) chiến lược với sản xuất. Hiện nay, chúng tôi tiếp tục đẩy nhanh cuộc cách mạng công nghệ sắp diễn ra đối với ngành điện tử nano của chúng tôi và các đối tác công nghệ hàng đầu.

Xem thêm thông tin chi tiết tại website của công ty: www.sematech.org.